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  • Katalytische Entstickung mit vorgeschalteter Natronlaugewäsche zur Abluftreinigung hinter Ätzbädern in der Solarzellenproduktion

    Katalytische Entstickung mit vorgeschalteter Natronlaugewäsche zur Abluftreinigung hinter Ätzbädern in der Solarzellenproduktion
    22.06.10
    In der Solarzellenproduktion werden Siliziumscheiben unter Zugabe von Flusssäure und Salpetersäure geätzt. Die abgesaugten Abluftströme sind beladen mit HF, SiF4 und hohen Konzentrationen an Stickoxiden NO und NO2.
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